1、超低處理溫度：
真空腔體由鋁合金材質(zhì)制造，經(jīng)過真空度撿漏測試，處理溫度低于45℃，保壓性能優(yōu)異，可滿足不同場合溫度要求，不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
2、多路氣體控制：
高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，針對不同的產(chǎn)品，通入不同反應(yīng)氣體，雙路或者多路工藝氣體，使用清洗各種復(fù)雜形狀的產(chǎn)品，全方位均勻清洗。
3、高效率處理：
單次可處理多片/批次材料，更可根據(jù)材料、產(chǎn)能進(jìn)行定制。
